Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:q41730qkn6h675k5 > On the description ...

On the description of metal ion return in reactive high power impulse magnetron sputtering [Elektronisk resurs]

Kubart, Tomas, 1977- (författare)
Fernandes, Daniel Luis Abreu (författare)
Nyberg, Tomas (författare)
Uppsala universitet Teknisk-naturvetenskapliga vetenskapsområdet (utgivare)
Publicerad: ELSEVIER SCIENCE SA, 2021
Engelska.
Ingår i: Surface & Coatings Technology. - 0257-8972. ; 418
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • Back-attraction of ionized metal is an important process in reactive high power impulse magnetron sputtering (R-HiPIMS). Here, we discuss the implementation of the metal return in balance type models for reactive magnetron sputtering. We show that the existing description of surface processes needs to be modified to satisfy mass conservation. A new steady-state time-averaged model is presented and used to evaluate the effect of the metal return in R-HiPIMS. The results show that the metal return leads to an increased oxide fraction in the deposited coating in R-HiPIMS. This effect can explain the high rate deposition of stoichiometric compounds deposited in the metal mode of operation that has been observed experimentally. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Materials Engineering  (hsv)
Manufacturing, Surface and Joining Technology  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
Materialteknik  (hsv)
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik  (hsv)
Natural Sciences  (hsv)
Chemical Sciences  (hsv)
Materials Chemistry  (hsv)
Naturvetenskap  (hsv)
Kemi  (hsv)
Materialkemi  (hsv)

Genre

government publication  (marcgt)

Indexterm och SAB-rubrik

Reactive sputtering
Reactive HiPIMS
Thin films
Process modelling
Metal back-attraction
Inställningar Hjälp

Ingår i annan publikation. Gå till titeln Surface & Coatings Technology

Om LIBRIS
Sekretess
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy