Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:jrcdwblqg5gzqbwp > Process considerati...

Process considerations for layer-by-layer 3D patterning of silicon, using ion implantation, silicon deposition, and selective silicon etching [Elektronisk resurs]

Gylfason, Kristinn B., 1978- (författare)
Fischer, Andreas C. (författare)
Gunnar Malm, B. Gunnar (författare)
Radamson, Henry H. (författare)
Belova, Lyubov M. (författare)
Niklaus, Frank (författare)
KTH Skolan för elektro- och systemteknik (EES) (utgivare)
KTH Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT) (utgivare)
KTH Skolan för industriell teknik och management (ITM) (utgivare)
Publicerad: American Vacuum Society, 2012
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - 1071-1023. ; 30:6, 06FF05
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
Läs hela texten
  • E-artikel/E-kapitel
Sammanfattning Ämnesord
Stäng  
  • The authors study suitable process parameters, and the resulting pattern formation, in additive layer-by-layer fabrication of arbitrarily shaped three-dimensional (3D) silicon (Si) micro- and nanostructures. The layer-by-layer fabrication process investigated is based on alternating steps of chemical vapor deposition of Si and local implantation of gallium ions by focused ion beam writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the Si in potassium hydroxide, where the ion implantation provides the etching selectivity. 

Ämnesord

Engineering and Technology  (hsv)
Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering  (hsv)
Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering  (hsv)
Teknik och teknologier  (hsv)
Elektroteknik och elektronik  (hsv)
Annan elektroteknik och elektronik  (hsv)

Indexterm och SAB-rubrik

chemical vapour deposition
elemental semiconductors
etching
focused ion beam technology
gallium
ion implantation
nanofabrication
nanopatterning
nanostructured materials
semiconductor doping
semiconductor growth
silicon
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy