Thermal stability and mechanical properties of amorphous arc evaporated Ti-B-Si-N and Ti-B-Si-Al-N coatings grown by cathodic arc evaporation from TiB 2 , Ti 33 Al 67 , and Ti 85 Si 15 cathodes [Elektronisk resurs]
-
Fager, Hanna (författare)
-
Andersson, J.M. (författare)
-
Jensen, Jens (författare)
-
Lu, Jun (författare)
-
Hultman, Lars (författare)
-
- Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: IFM
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
-
- Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
-
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
-
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
-
Alternativt namn: LiTH
-
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
-
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
- American Vacuum Society 2014
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101. ; 32:6, 061508
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
Sammanfattning
Ämnesord
Stäng
- Ti-B-Al-N, Ti-B-Si-N, and Ti-B-Si-Al-N coatings were grown on cemented carbide substrates in an industrial scale cathodic arc evaporation system using Ti 33 Al 67 , Ti 85 Si 15 , and TiB 2 cathodes in a reactiveN 2 atmosphere. The microstructure of the as-deposited coatings changes from nanocrystalline to amorphous with addition of (B+Si+Al), or high amounts of (B+Si) to TiN. In the as-deposited state, the 4 μ m-thick amorphous coatings are dense and homogenous, besides slight compositional modulation with Ti-rich layers induced by rotation of the substrate holder fixture during deposition, and have unusually few macroparticles. Annealing at temperatures ranging from 700 °C to 1100 °C results in that the coatings crystallize by clustering of TiN grains. The hardness of as-deposited amorphous coatings is 17-18 GPa, and increases to 21 GPa following annealing at 800 °C. At annealing temperatures of 1000 °C and above the hardness decreases due to inter-diffusion of Co from the substrate to the coating.
Ämnesord
- Natural Sciences (hsv)
- Physical Sciences (hsv)
- Naturvetenskap (hsv)
- Fysik (hsv)
Inställningar
Hjälp
Beståndsinformation saknas