Two-domain formation during the epitaxial growth of GaN (0001) on c-plane Al2O3 (0001) by high power impulse magnetron sputtering [Elektronisk resurs]
-
Muhammad, Junaid (författare)
-
Lundin, Daniel (författare)
-
Palisaitis, Justinas (författare)
-
Hsiao, Ching-Lien (författare)
-
Darakchieva, Vanya (författare)
-
Jensen, Jens (författare)
-
Persson, Per 1971- (författare)
-
Sandström, Per (författare)
-
Lai, W-J (författare)
-
Chen, L-C (författare)
-
Chen, K-H (författare)
-
Helmersson, Ulf (författare)
-
Hultman, Lars (författare)
-
Birch, Jens (författare)
-
- Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: IFM
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
-
- Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
-
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
-
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
-
Alternativt namn: LiTH
-
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
-
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
-
- Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: IFM
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
-
- Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: IFM
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
-
Center for Condensed Matter Sciences (medarbetare)
-
Center for Condensed Matter Sciences (medarbetare)
-
Center for Condensed Matter Sciences (medarbetare)
- American Institute of Physics (AIP) 2011
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Applied Physics. - 0021-8979. ; 110:12, 123519
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
Sammanfattning
Ämnesord
Stäng
- We study the effect of high power pulses in reactive magnetron sputter epitaxy on the structural properties of GaN (0001) thin films grown directly on Al 2 O 3 (0001) substrates. The epilayers are grown by sputtering from a liquid Ga target, using a high power impulse magnetron sputtering power supply in a mixed N 2 /Ar discharge. X-ray diffraction, micro-Raman, micro-photoluminescence, and transmission electron microscopy investigations show the formation of two distinct types of domains. One almost fully relaxed domain exhibits superior structural and optical properties as evidenced by rocking curves with a full width at half maximum of 885 arc sec and a low temperature band edge luminescence at 3.47 eV with the full width at half maximum of 10 meV. The other domain exhibits a 14 times higher isotropic strain component, which is due to the higher densities of the point and extended defects, resulting from the ion bombardment during growth. Voids form at the domain boundaries. Mechanisms for the formation of differently strained domains, along with voids during the epitaxial growth of GaN are discussed.
Ämnesord
- Natural Sciences (hsv)
- Naturvetenskap (hsv)
- Natural Sciences (hsv)
- Physical Sciences (hsv)
- Condensed Matter Physics (hsv)
- Naturvetenskap (hsv)
- Fysik (hsv)
- Den kondenserade materiens fysik (hsv)
Inställningar
Hjälp
Beståndsinformation saknas