Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A / editors: Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi.

Ämnesord

Design  (sao)

Semiconductors  -- Design and construction -- Congresses (LCSH)

Surface preparation  -- Congresses (LCSH)

Semiconductors  -- Cleaning -- Congresses (LCSH)

Surface chemistry  -- Congresses (LCSH)

Tillverkning av integrerade kretsar 

Design  (LCSH)

Klassifikation

621.3815 (DDC)

621.381 5 (DDC)

Pcib (kssb/8 (machine generated))

Pci (kssb/8 (machine generated))