Startsida
Hjälp
Sök i LIBRIS databas

     

 

Sökning: onr:22070137 > Growth and properti...

  • Fager, Hanna (författare)

Growth and properties of amorphous Ti-B-Si-N thin films deposited by hybrid HIPIMS/DC-magnetron co-sputtering from TiB 2 and Si targets [Elektronisk resurs]

  • E-artikel/E-kapitelEngelska2014

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • Elsevier2014

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:22070137
  • http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-106574uri
  • urn:nbn:se:liu:diva-106574urn
  • 10.1016/j.surfcoat.2014.10.053doi

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Anmärkningar

  • Published
  • gratis
  • Amorphous nitrides are explored for their homogenous structure and potential use as wear-resistant coatings, beyond their much studied nano-and microcrystalline counterparts. (TiB 2 ) 1−x Si x N y thin films were deposited on Si(001) substrates by a hybrid technique of high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) combined with dc magnetron sputtering (DCMS) using TiB 2 and Si targets in a N 2 /Ar atmosphere. By varying the sputtering dc power to the Si target from 200 to 2000 W while keeping the average power to the TiB 2 -target, operated in HIPIMS mode, constant at 4000 W, the Si content in the films increased gradually from x=0.01 to x=0.43. The influence of the Si content on the microstructure, phase constituents, and mechanical properties were systematically investigated. The results show that the microstructure of as-deposited (TiB 2 ) 1−x Si x N y films changes from nanocrystalline with 2-4 nm TiN grains for x=0.01 to fully electron diffraction amorphous for x=0.22. With increasing Si content, the hardness of the films increases from 8.5 GPa with x=0.01 to 17.2 GPa with x=0.43.

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Greczynski, Grzegorz (författare)
  • Jensen, Jens (författare)
  • Lu, Jun (författare)
  • Hultman, Lars (författare)
  • Linköpings universitetInstitutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
  • Linköpings universitetTekniska högskolan (utgivare)

Sammanhörande titlar

  • Del av/supplement till:channel record
  • Ingår i:VärdpublikationSurface & Coatings Technology259, 442-4470257-8972

Internetlänk

Länkade data-URI:er (test)

  • 264446 (Naturvetenskap hsv)
  • 274895 (Fysik hsv)
  • 243422 (Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi pbl)
  • 214173 (Linköpings universitet Tekniska högskolan pbl)
Inställningar Hjälp

Beståndsinformation saknas

Om LIBRIS
Sekretess
Blogg
Hjälp
Fel i posten?
Kontakt
Teknik och format
Sök utifrån
Sökrutor
Plug-ins
Bookmarklet
Anpassa
Textstorlek
Kontrast
Vyer
LIBRIS söktjänster
SwePub
Sondera
Uppsök

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy